Pfeiffer Vacuum Technology : zeigt auf den Messen Semicon Korea und Semicon China innovative Vakuumlösungen
Am 18. Januar 2016 um 15:54 Uhr
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Turbopumpe HiPace 2800 IT
Mit der HiPace 2800 IT präsentiert Pfeiffer Vacuum eine speziell für Anwendungen zur Ionenimplantation geeignete Turbopumpe. Das ausgereifte Rotordesign der Turbopumpe gewährleistet ein optimales Saugvermögen für leichte Gase. Dadurch ist eine ausgezeichnete Anpassung bei Ionenimplantationsprozessen sichergestellt, bei denen hauptsächlich Wasserstoff anfällt. Mit einem Saugvermögen für Wasserstoff von 2.750 l/s ist die neue HiPace 2800 IT die führende Turbopumpe in ihrer Klasse.
Das intelligente Temperaturmanagement verhindert Kondensation und Ablagerung im Pumpensystem und gestattet eine individuelle Temperatureinstellung zur optimalen Prozessunterstützung. Die spezielle Hochleistungsbeschichtung des Rotors bietet Stabilität gegenüber allen Stoffen, die in Ionenimplantationsprozessen auftreten. Dank der sogenannten Hybridlagerung, einer Kombination aus Keramik-Kugellagern auf der Vorvakuumseite mit permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, verfügen die HiPace Turbopumpen über einen äußerst robusten Lageraufbau. Dieser bildet zusammen mit der effizienten Beschichtung die Grundlage, für die lange Lebensdauer der Pumpen und eine maximale Verfügbarkeit.
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Die Pfeiffer Vacuum Technology AG ist ein Anbieter von Vakuumlösungen. Das Unternehmen entwickelt, fertigt und vertreibt Komponenten und Systeme zur Vakuumerzeugung, -messung und -analyse sowie zur Lecksuche. Zu den Segmenten des Unternehmens gehören Deutschland, USA, Europa (ohne Deutschland und Frankreich), Republik Korea, Asien (ohne Republik Korea), Frankreich und Sonstige. Die Geschäftstätigkeit des Unternehmens umfasst die Entwicklung, die Herstellung, den Verkauf und den Service von Vakuumpumpen, Vakuumkomponenten und -instrumenten sowie von Vakuumsystemen. Das Produktportfolio des Unternehmens wird unter den Produktmarken Pfeiffer Vacuum und adixen vermarktet. Das Produktportfolio des Unternehmens gliedert sich in die Bereiche Vakuumerzeugung, Vakuummessung und -analyse, Installationselemente, Vakuumkammern und Vakuumsysteme. Es umfasst eine Reihe von hybriden und magnetisch gelagerten Turbopumpen, ölgeschmierten und trockenverdichtenden Nieder- und Mittelvakuumpumpen, Lecksuchern, Massenspektrometern und Messköpfen.