Axcelis Technologies, Inc. gibt die Auslieferung des Purion EXE Power Series Implanters an einen japanischen Hersteller von SiC-Leistungsbauelementen bekannt
Am 18. Oktober 2023 um 14:00 Uhr
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Axcelis Technologies, Inc. gab die Auslieferung des Purion EXE SiC Power Series? 200mm Hochenergie-Implanter des Unternehmens an einen Hersteller von SiC-Leistungsbauelementen in Japan. Das System wird in der Großserienproduktion von SiC-Leistungsbauelementen für den Einsatz in Automobilanwendungen eingesetzt.
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Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Flaggschiffsysteme von Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Strahl-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleichen Strahlbedingungen im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips auf der ganzen Welt.
Axcelis Technologies, Inc. gibt die Auslieferung des Purion EXE Power Series Implanters an einen japanischen Hersteller von SiC-Leistungsbauelementen bekannt