Axcelis Technologies, Inc. Axcelis Technologies kündigt mehrere Auslieferungen von Purion H200 SiC Power Series Implantern und die Einstellung des Purion XE SiC Eval Tools an
Am 06. Januar 2022 um 14:00 Uhr
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Axcelis Technologies, Inc. gab bekannt, dass im dritten und vierten Quartal weitere Lieferungen von Hochstrom-Implantern der Purion H200 SiC Power Series des Unternehmens an einen führenden Chiphersteller von Leistungsgeräten erfolgten. Die Lieferungen gingen an mehrere Fabriken in Asien und Europa. Im vierten Quartal schloss Axcelis auch die Evaluierung eines Hochenergie-Implanters der Purion XE Power Series SiC für einen neuen Kunden in Europa erfolgreich ab. Die Systeme bei beiden Kunden werden in der Großserienproduktion von SiC-Leistungsbauelementen zur Unterstützung der Automobilmärkte eingesetzt.
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Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Flaggschiffsysteme von Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Strahl-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleichen Strahlbedingungen im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips auf der ganzen Welt.
Axcelis Technologies, Inc. Axcelis Technologies kündigt mehrere Auslieferungen von Purion H200 SiC Power Series Implantern und die Einstellung des Purion XE SiC Eval Tools an