Mycronic AB (publ) hat den ersten Auftrag für ein MMX-Metrologiesystem von einem neuen Halbleiterkunden in Asien erhalten. Der Auftragswert liegt in der Größenordnung von USD 2-4 Millionen. Die Auslieferung des Systems ist für das dritte Quartal 2024 geplant.

Das MMX ist ein neues System zur Messung der Position des geschriebenen Musters, wodurch die Qualität der produzierten Fotomaske sichergestellt wird. Das Produkt basiert auf der SLX-Maskenschreiber-Plattform und dem bestehenden Prexision-MMS-Metrologiesystem von Mycronic für Display-Fotomasken. Darüber hinaus ist die MMX mit modernster Optik und Software ausgestattet, einschließlich einer modernen Benutzeroberfläche und Analysetools.

Die MMX zielt auf ausgereifte Halbleiterknoten ab und bietet optimale Flexibilität für den Ersatz alter Systeme und zukünftiges Volumenwachstum.