Axcelis Technologies, Inc. meldet mehrere neue Markteintritte und Folgelieferungen von Implantern der Purion Power Serie an Siliziumkarbid-Chiphersteller in aller Welt
Am 19. Januar 2023 um 14:00 Uhr
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Axcelis Technologies, Inc. gab mehrere neue Durchbrüche und Folgelieferungen der Ionenimplantersysteme der Purion Power Serie bekannt. Die Lieferungen gingen an Produktionsstätten in Asien, Europa und den USA, die von führenden Herstellern von SiC-Leistungschips betrieben werden. Die erworbenen Modelle der Purion Power Series-Implanter, darunter der Purion H200 Hochstrom-, der Purion XE Hochenergie- und der Purion M Mittelstrom-Implanter, werden in der Großserienproduktion von Leistungsbauelementen für EV-Anwendungen in der Automobilindustrie eingesetzt.
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Axcelis Technologies, Inc. entwickelt, fertigt und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsgeräte, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Das Unternehmen bietet eine komplette Reihe von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstrom-Implantern für alle Anwendungsanforderungen. Zusätzlich zu den Anlagen bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen an, darunter gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Anlagen-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Die Flaggschiffsysteme von Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine Kombination aus Implantatreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer einzigen Wafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Strahl-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte auf dem Wafer die gleichen Strahlbedingungen im gleichen Strahlwinkel sehen) ermöglichen die Purion-Produkte eine Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und -ausbeute bei hoher Produktivität. Das Unternehmen verkauft seine Produkte an Hersteller von Halbleiterchips auf der ganzen Welt.
Axcelis Technologies, Inc. meldet mehrere neue Markteintritte und Folgelieferungen von Implantern der Purion Power Serie an Siliziumkarbid-Chiphersteller in aller Welt