Amtech Systems, Inc. gab die Buchung des 20. neuen OnTrak doppelseitigen Waferwäschersystems bekannt, das für SiC-Fertigungsanwendungen verkauft wurde. Diese Bestellung kam von einem bestehenden Entrepix OnTrak Kunden in Nordamerika und wird in der zweiten Hälfte des Geschäftsjahres 2023 ausgeliefert. Frühere Aufträge für SiC-Waferwaschsysteme kamen von mehreren Kunden in Europa, Asien und Nordamerika, mit einer großen Installationsbasis in Europa bzw. Nordamerika.

Der neue doppelseitige OnTrak Scrubber eignet sich ideal für Verbindungshalbleiteranwendungen mit Konfigurationen für 100-200mm Wafer und Anpassungen für noch kleinere Wafer mit maßgeschneiderten Trägern.